Monolithischer Wafer mit Funktionsstrukturen aus DELO DUALBOND IC343, kombiniert mit Nanostrukturen aus DELO KATIOBOND OM614.

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Events | 16. May 2024

Billigere und einfachere Produktion von Mikrooptiken

Dank der Mikro- und Nano-Optik werden immer kompaktere optische Systeme geschaffen. Diese ebnen den Weg für völlig neue Funktionalitäten, die mit herkömmlichen Optiken nicht erreicht werden können. Der UV-Aufdruck macht die kosteneffiziente Massenproduktion solcher Optiken inzwischen zur Realität. Sollen jedoch zusätzliche Funktionen, wie elektrische Leiter oder schwarze Blenden, in das optische Modul integriert werden, kommen häufig aufwändige Verfahren (z.B. Photolithographie) zum Einsatz. Diese Verfahren sind nicht nur teuer, sondern auch in Kombination mit dem UV-Druckverfahren nicht ideal. Durch die Kombination verschiedener Funktionspolymere können Sie die Kosten senken, den Prozess vereinfachen und die Zuverlässigkeit des optischen Elements erhöhen.

Monolithischer Wafer mit Funktionsstrukturen aus DELO DUALBOND IC343, kombiniert mit Nanostrukturen aus DELO KATIOBOND OM614.

Monolithischer Wafer mit Funktionsstrukturen aus DELO DUALBOND IC343, kombiniert mit Nanostrukturen aus DELO KATIOBOND OM614.

Was sind Mikrooptiken und wo werden sie eingesetzt?

Vereinfacht gesagt, ist die Mikrooptik eine miniaturisierte Version der herkömmlichen Optik. Deren Komponenten wie Linsen, Spiegel oder Prismen sind nur wenige Größenordnungen länger als die Wellenlänge des Lichts, das sie durchläuft.

Medizinische Endoskope sind eine Anwendung, bei der die Vorteile der Verkleinerung von Optiken besonders deutlich werden. In den letzten Jahren ist es durch die Mikrooptik und entsprechende Fertigungstechniken gelungen, das gesamte optische Modul (einschließlich des Bildsensors) auf einen Würfel mit einer Kantenlänge von <1 mm zu reduzieren.

Neben den geringeren Abmessungen ermöglicht die Mikrooptik auch neue und verbesserte Konzepte für jahrhundertealte optische Aufgaben, wie z.B. Projektionssysteme. Anstatt mit einzelnen, hintereinander angeordneten Linsen einen sperrigen Aufbau für die Bildprojektion zu schaffen, wird ein Array von Mikrolinsen zur Parallelisierung der Projektion eingesetzt. Dadurch wird dank einer verkürzten Brennweite ein hoher Lichtstrom bei einem Bruchteil der Größe herkömmlicher Projektionssysteme erreicht.

Wird die Dimension von mikro- auf nanoskopisch verkleinert, ändert sich die Methode der Lichtlenkung von refraktiv auf diffraktiv. Dies eröffnet eine Fülle von neuen Möglichkeiten. So können beispielsweise diffraktive optische Elemente (DOEs) verwendet werden, um einen kollimierten (geraden) Laserstrahl in praktisch jede gewünschte Lichtverteilung zu verwandeln. Ein bemerkenswertes Beispiel ist die Erzeugung eines Punktmusters, das in der 3D-Sensorik zur Messung der Breite, Höhe und Tiefe eines Objekts verwendet wird.

Wie funktioniert der Herstellungsprozess?

Diese neue Art von Optik erfordert natürlich neue Herstellungsmethoden. Herkömmliche Verfahren wie das Spritzgießen sind aufgrund der erforderlichen Strukturgrößen und der genauen Ausrichtung weniger geeignet.

Das UV-Mikro-/Nano-Imprint-Verfahren ist inzwischen ein etabliertes Werkzeug, das auf Standardmaschinen mehrerer Hersteller verfügbar ist. Dabei wird ein flüssiges, transparentes UV-härtendes Material auf einen Glaswafer aufgetragen und anschließend mit einem strukturierten Stempel in Kontakt gebracht. Nachdem die Geometrie der Optik, wie Linsen und DOEs, durch den Stempel definiert wurde, wird das Material durch UV-Licht ausgehärtet. Anschließend wird der Stempel entfernt und der strukturierte Wafer in einzelne Module geschnitten.

Integration von Blenden als Funktionsschicht

Etwas komplizierter wird es, wenn zusätzliche Merkmale in ein optisches Element integriert werden müssen. Blenden zum Beispiel sind Schlüsselelemente in vielen optischen Designs.

Bisher wurden Blenden standardmäßig mit einem photolithografischen Verfahren in geprägte Optiken integriert. Dabei wird zunächst eine strukturierte Chromschicht auf einem Glaswafer erzeugt und dann die Optik direkt auf den Wafer aufgedruckt.

Das fotolithografische Verfahren umfasst eine Vielzahl von Schritten:

  • Beschichtung eines Glaswafers mit einer homogenen Chromschicht
  • Abscheidung eines Fotolacks
  • Strukturierung des Fotolacks durch einen Lithografieschritt
  • Chemische Entwicklung des Fotolacks
  • Abtragen eines Teils der Chromschicht
  • Entfernen des restlichen Fotolacks

Nachteile dieser Lösung:

  • Dieses Verfahren ist sehr komplex und daher teuer.
  • Außerdem schränkt es die möglichen Anwendungen für solche Blenden stark ein. Dieses Verfahren funktioniert nur auf Glaswafern und ist im Allgemeinen nicht mit der Strukturierung einer Chromschicht auf den Polymeroptiken selbst vereinbar.
  • Weitere Probleme können durch eine unzureichende Haftung der Chromschicht auf Glas oder des Polymermaterials auf Chrom entstehen.

Neuer Ansatz 1: Direktes Einbetten eines Funktionsmaterials in die Optik

Viele der genannten Probleme lassen sich vermeiden, indem ein funktionales (z.B. schwarzes) Material direkt in die Polymeroptik eingebettet wird. Eine Möglichkeit, dies zu erreichen, ist das Einprägen definierter Kanalstrukturen zusätzlich zur optischen Struktur während des Prägeprozesses. Diese Kanäle können dann mit einem schwarzen, niedrigviskosen Material gefüllt werden, das entweder durch UV-Licht oder Wärme ausgehärtet wird (siehe Abbildung 3). Dies vereinfacht den Prozess enorm.

Ein weiterer Vorteil dieser Option ist, dass die thermomechanischen Eigenschaften der beiden Materialien (optisch transparent und schwarz) viel näher beieinander liegen als die von Glas, Chrom und Polymer. Dadurch werden thermische Spannungen vermieden, die durch unterschiedliche Wärmeausdehnungskoeffizienten (CTE) verursacht werden. Dies verbessert unmittelbar die Zuverlässigkeit, wie Temperaturwechseltests gezeigt haben. Da bei diesem Verfahren keine Glassubstrate mehr erforderlich sind, werden Gewicht und Höhe der Optiken effektiv minimiert und gleichzeitig die Kosten gesenkt.

Neuer Ansatz 2: Einsatz eines vorübergehenden Beförderers

Ein weiterer möglicher Ansatz besteht darin, mit einem temporären Träger (z. B. einer Kunststofffolie) zu beginnen. Die Aperturen werden auf dem Träger hergestellt, indem ein lichtblockierendes Polymer im Siebdruckverfahren aufgebracht wird. Nach der UV- oder Wärmehärtung des Polymers folgt der übliche UV-Prägeprozess, bei dem die optischen Strukturen präzise mit den Aperturen ausgerichtet werden können. Sobald das transparente Material ausgehärtet und der Stempel entfernt ist, kann die Trägerfolie abgezogen werden. Das Ergebnis ist ein vollständig monolithisches (vollständig polymeres) optisches Modul mit integrierten Aperturen.

Beiden neuen Ansätzen ist der gemeinsame Vorteil eigen, dass die Eigenschaften schwarzer Materialien sowohl an das optische Design als auch an die jeweiligen Prozesse angepasst werden können:

  • Beispiel 1: Ein siebdruckfähiges Material mit moderater Viskosität und hohem Absorptionskoeffizienten für eine hohe optische Dichte in wenige µm dünnen Schichten.
  • Beispiel 2: Ein Material zum Füllen funktionaler Strukturen mit niedriger Viskosität und moderatem Absorptionskoeffizienten für eine hohe optische Dichte in Strukturen von einigen Hundert µm.
  • Es ist sogar möglich, eine spektrale Filterfunktion direkt in das Polymer zu integrieren (z. B. eine bestimmte Wellenlängenregion zu blockieren, während ein anderer Bereich durchlässig bleibt).

Integration von funktionalen, elektrisch leitfähigen Schichten

Einige Anwendungen erfordern die Integration von elektrisch leitenden Strukturen in das optische Element. Ein Beispiel ist das Diffusorelement, das in Lichtlaufzeitsensoren oder für Sensoren für strukturiertes Licht verwendet wird, die den kollimierten Laserstrahl des Senders bilden. Hier werden die leitfähigen Strukturen als Sicherheitsnetz verwendet, um eine mögliche Beschädigung des Diffusorelements zu erkennen und so eine Gefährdung durch den emittierten Laserstrahl zu vermeiden. Für die Herstellung eines solchen Sicherheitsnetzes kann ein ähnliches Verfahren wie für die Blenden verwendet werden. Allerdings wird anstelle eines schwarzen Polymers ein isotroper elektrisch leitfähiger Klebstoff (ICA) verwendet.

Zunächst wird ein ICA (z.B. DELO DUALBOND IC343) im Siebdruckverfahren auf eine temporäre Trägerfolie gedruckt, die verschiedene Strukturen (z.B. Leiterbahnen, Öffnungen) enthält. Anschließend wird mit einem transparenten, UV-härtenden Material (z. B. DELO KATIOBOND OM614) eine Nanostruktur auf diese Folie gedruckt, die das diffraktive optische Element bildet. Durch Abziehen der Trägerfolie entsteht ein Vollpolymer-Wafer mit mehreren DOEs und einer integrierten leitfähigen Struktur.

Schlussfolgerung

Dieses Verfahren besticht durch seine Einfachheit und Kosteneffizienz:

  • Mit einfachen UV-Druckverfahren lassen sich miniaturisierte optische Elemente wie Linsen oder DOEs mit zusätzlichen Funktionalitäten (z.B. elektrische Leiter oder schwarze Blenden) herstellen.
  • Hierfür werden nur zwei Materialien benötigt: Ein UV-härtendes transparentes Material für die Hauptoptik und ein UV- oder hitzehärtendes gefülltes Material, das die elektrische Leitfähigkeit oder die lichtabschirmende Eigenschaft liefert.
  • Mit diesem Ansatz lassen sich auch potenzielle Zuverlässigkeitsprobleme (z. B. thermische Fehlanpassung) überwinden, da die thermomechanischen Eigenschaften der beiden Materialien aufeinander abgestimmt werden können.  

Bei DELO finden Sie ein umfangreiches Portfolio an solchen Produkten.

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