WHITEPAPER
Wafer-level micro-optics fabrication
Wafer-level micro-optics fabrication by lens molding using UV-curable polymers
Refraktive Polymer-Mikrolinsen sind das Herzstück mikrooptischer Module. Bei Modulen mit kleinem Formfaktor basiert der Herstellungsprozess auf dem UV-Linsenformen auf Waferebene. Während alternative Lithographieverfahren nur begrenzt in der Lage sind, komplexe optische Strukturen auf Waferebene herzustellen, sind Nanoimprint-Lithographie (NIL) und Linsenabformung unempfindlich gegenüber Form und Komplexität und daher für die Großserienproduktion geeignet.
In Zusammenarbeit zwischen DELO Industrieklebstoffe und EVG wird in diesem Whitepaper eine qualifizierte Industrielösung vorgestellt, die Verfahren und Materialien für eine qualitativ hochwertige Linsenherstellung mit exzellenter und reproduzierbarer Mustertreue über den gesamten Prozess umfasst.
DELO WHITEPAPER
Wafer-level micro-optics fabrication
