WHITEPAPER
Wafer-level micro-optics fabrication
Wafer-level micro-optics fabrication by lens molding using UV-curable polymers
Refraktive Polymer-Mikrolinsen sind das Herzstück mikrooptischer Module. Bei Modulen mit kleinem Formfaktor basiert der Herstellungsprozess auf dem UV-Linsenformen auf Waferebene. Während alternative Lithographieverfahren nur begrenzt in der Lage sind, komplexe optische Strukturen auf Waferebene herzustellen, sind Nanoimprint-Lithographie (NIL) und Linsenabformung unempfindlich gegenüber Form und Komplexität und daher für die Großserienproduktion geeignet.
In Zusammenarbeit zwischen DELO Industrieklebstoffe und EVG wird in diesem Whitepaper eine qualifizierte Industrielösung vorgestellt, die Verfahren und Materialien für eine qualitativ hochwertige Linsenherstellung mit exzellenter und reproduzierbarer Mustertreue über den gesamten Prozess umfasst.
Sie möchten noch mehr über Wafer-Level-Optiken erfahren? In unserem TECH TALK gemeinsam mit EVG erhalten Sie Antworten auf folgende Fragen:
- Wie kann eine zuverlässige Mikrolinsenproduktion auf einem 200 mm-Wafer erreicht werden?
- Wie führt dies zu einer hohen, optischen Oberflächenqualität und Formgenauigkeit?
- Welche Vorteile bieten die neuesten optischen Materialien von DELO?
- Was sind die Hauptfunktionen der neuesten multifunktionalen Nanoimprint-Lithographie-Systeme von EVG?
- Wie einfach können Sie Ihre WLO- und Nanoimprint-Lithographie-Produktion von 150 mm auf 300 mm hochfahren?

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