EV Group und DELO kooperieren bei der Erweiterung ihrer Material- und Prozesskompetenzen für Wafer-Level-Optiken und Nanopräge-Lithographie

11.11.2019

Nanopräge-Lithographie (links) und Linsenprägen (rechts) auf Waferebene ermöglichen kleinste Dimensionen und hohe Auflösungen für Anwendungen wie die 3D-Sensorik. (Bild: DELO)

EV Group (EVG), ein führender Entwickler und Hersteller von Anlagen für Waferbonding- und Lithographieanwendungen in der Halbleiterindustrie, Mikrosystemtechnik und Nanotechnologie, gab heute eine Partnerschaft im Bereich Wafer-Level-Optiken (WLO) mit DELO bekannt, einem führenden Hersteller von industriellen Hightech-Klebstoffen. Beide Unternehmen, bekannt für ihre führende Rolle in der Produktionstechnologie für optische Sensoren, bündeln ihre Anstrengungen und ermöglichen zukunftsweisende optische Komponenten und Anwendungen wie biometrische Authentifizierung und Gesichtserkennung für die Industrie-, Automobil- und Unterhaltungselektronik. Dabei kommen EVGs Equipment- und Prozesslösungen für das Linsenprägen und die Nanopräge-Lithographie (NIL) sowie Klebstoffe und Resist-Materialien von DELO zum Einsatz.

Die Partnerschaft, deren Aktivitäten im Rahmen des NILPhotonics® Competence Centers am Hauptsitz von EVG in St. Florian sowie am DELO-Hauptsitz in Windach stattfinden, trägt zu verbesserten und beschleunigten Materialentwicklungszyklen bei. Das EVG NILPhotonics Competence Center bietet Kunden und Partnern entlang der NIL-Lieferkette einen Open-Access Innovationsinkubator, um gemeinsam die Entwicklungszyklen innovativer Komponenten und Anwendungen zu verkürzen und deren schnellere Markteinführung zu ermöglichen. Die Infrastruktur umfasst modernste Reinräume und Anlagen, die wichtige NIL-Herstellungsschritte wie Step-and-Repeat-Mastering, Linsenprägen und EVGs SmartNIL®-Technologie sowie Waferbonden und Metrologie unterstützen. Dieses Angebot ermöglicht den einfachen Zugriff auf neueste Technologien und Materialien für das Entwickeln, Prototyping und Fertigen von Wafer-Level-Optiken.

Auf der SEMICON Europa, die vom 12. bis 15. November in der Messe München stattfindet, stehen Führungskräfte für Gespräche zu den gemeinsamen Entwicklungsprojekten zur Verfügung.

Kooperationen innerhalb der Lieferkette treiben die Einführung von Wafer-Level-Optiken voran

Hochentwickelte Klebstoffe und Resists spielen eine zentrale Rolle bei der Herstellung der nächsten Generation optischer Sensoren auf Wafer-Ebene für den Massenmarkt. Die Entwicklung optischer Materialien erfordert eine umfassende Charakterisierung der chemischen, mechanischen und optischen Eigenschaften, wobei auch die Skalierbarkeit für die Großserienfertigung (HVM) gewährleistet sein muss. Ein umfassendes Know-how über Materialanforderungen für automatisierte Präge- und Entformungsprozesse sowie die Materialkompatibilität von NIL-Arbeitsstempeln und Resists ist notwendig, um im WLO-Bereich mit bewährten HVM-Prozessen auch bei kleinsten Dimensionen optimale Ergebnisse zu erzielen.

Eine enge Zusammenarbeit zwischen Materiallieferanten und Spezialmaschinenbauern ist der Schlüssel zur Entwicklung und Verfeinerung der Fertigungsprozesse, mit denen sich WLO-Komponenten mit hoher Zuverlässigkeit für Produkte höchster Qualität herstellen lassen. Die Kooperation zwischen EVG und DELO wird beide Unternehmen bei der Weiterentwicklung ihrer Prozesse und Produkte sowie bei der Stärkung ihrer Kompetenz unterstützen, aktuelle und zukünftige Marktanforderungen zu adressieren.

Durch die Partnerschaft soll das umfassende Material- und Prozess-Know-how genutzt werden, um die Entwicklung neuer Produkte und das Prototyping weiter zu beschleunigen und so die Roadmaps der Kunden beider Unternehmen zu ermöglichen.

„Das NILPhotonics Competence Center adressiert in einzigartiger Weise die Anforderungen der Industrie, neue Wege zur Produktentwicklung zu finden, eine schnelle Markteinführung zu ermöglichen und den Schutz vertraulicher Informationen zu berücksichtigen", sagt Markus Wimplinger, Corporate Technology Development und IP Director bei EV Group. „Durch Partnerschaften mit wichtigen Akteuren der Lieferkette wie mit DELO können wir noch effizienter als zentraler Anlaufpunkt agieren, um in enger Zusammenarbeit mit Prozess- und Anlagenexperten maßgebliche Fertigungsschritte für neue Produktionslinien zu entwickeln."

„EVG und DELO sind als Technologie- und Marktführer für WLO- und NIL-Anlagen bzw. optische Materialien bekannt und haben sich bei der Einführung dieser Technologien und Prozesse in die Großserienproduktion bereits einen Namen gemacht", sagt Robert Saller, Geschäftsführer von DELO. „Gemeinsam können wir unser Know-how in der Anwendung der Wafer-Level-Prozesstechnologie für die Fertigung optischer und photonischer Komponenten einbringen, was EVG zu einem idealen Partner bei der Entwicklung unserer neuesten Produkte macht. Durch die Zusammenarbeit können wir wiederum noch stärker als Anwendungsexperte und Premium-Partner bei unseren Kunden auftreten."

Anwendungen und Lösungen für Wafer-Level-Optiken

Die WLO-Fertigungslösungen von EVG ermöglichen eine Vielzahl neuartiger, optischer Sensoren für mobile Consumerelektronikprodukte. Wichtige Beispiele sind 3D-Sensorik, Time-of-Flight, strukturiertes Licht, biometrische Authentifizierung, Gesichtserkennung, Iris-Scanning, optische Fingerabdruckerkennung, Spektral-Sensorik, Umweltsensorik und Infrarot-Bildgebung. Weitere Anwendungen sind Automotive Lighting, Erzeugung von Lichtteppichen, Head-Up-Displays, In-Car-Sensorik und LiDAR sowie endoskopische Kameras in der Medizintechnik, ophthalmische Anwendungen und chirurgische Robotik. Die WLO-Lösungen von EVG werden durch das NILPhotonics Competence Center des Unternehmens unterstützt. Weitere Informationen zu den WLO-Lösungen von EVG finden Sie unter www.evgroup.com/technologies/wafer-level-optics/.

Die multifunktionalen Materialien von DELO sind in fast jedem Smartphone weltweit zu finden. Die Hightech-Klebstoffe des Unternehmens zeichnen sich durch ihre hohe Funktionalität und Zuverlässigkeit aus. Mit zusätzlichen Eigenschaften, die für die spezifischen Anforderungen der Kunden entwickelt werden, sind diese Polymere optimal für industrielle Fertigungen mit kurzen Taktzeiten geeignet, in denen das Verbinden oder Schützen winziger Elemente erforderlich ist. Darüber hinaus bieten UV-LED-Aushärtungslampen und Dosierventile von DELO eine hervorragende Zuverlässigkeit. 

EVG auf der SEMICON Europa

EVG wird auf der SEMICON Europa am Stand B1630 seine Produktpalette von WLO-Fertigungslösungen einschließlich Systemen zum Linsenprägen und Stapeln sowie SmartNIL-Anlagen wie auch die komplette Produktpalette für Waferbonding-, Lithographie- und Resistverarbeitungsanwendungen präsentieren.

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